광전자 장치 기술 VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser)

광학 특성이 균일하게 높은 고밀도 2차원 VCSEL 어레이

이 표면 광방출 반도체 레이저는 32채널 2차원 어레이를 가지고 있어 복사기와 그 외 장치의 스캔형 노출 장치에서 광원으로 사용됩니다. 광학 출력 성질로 인해 발생하는 변형은 1% 이내로 유지되며, 후지필름의 현장 감시 시스템으로 활성 영역 직경이 균일하게 유지됩니다.

현장 감시 시스템

이 시스템은 웨이퍼 표면에서의 광 반사율 변화를 활용하여 육안으로 보이지 않는 활성 영역 직경을 식별하는 후지필름에서 개발한 시스템을 채택하였습니다.

핵심 기술

기초

  • 광학

광전자 장치 기술 SLED (Self-Scanning Light Emitting Device)

자체 스캐닝 기능을 갖춘 고집적 대규모 광방출 장치 어레이

광방출 사이리스터 반도체 장치 요소로써 광방출 기능과 광방출 지점을 순차적으로 선택하는 자체 스캐닝 기능이 통합되어 있습니다. 구성 부품에는 사이리스터가 비트당 2개만 필요하므로 소형 영역에 통합시킬 수 있습니다. 이를 통해 복사기와 그 외 장치의 프린트 헤드 크기가 작아지고 비용이 절감되었습니다.

광방출 장치 구성 부품의 고집적화

자체 스캐닝 기능은 신호 라인을 4~5개만 사용하여 광방출 장치 구성 부품을 500개 이상 구동하므로 골드 와이어 수가 획기적으로 감소되었습니다. 또한 광방출 장치 구성 부품이 21μm 간격으로 통합되어 있어 고해상도 화질(1200 dpi)이 가능해졌습니다.

핵심 기술

기초

  • 광학